La detección de entidades químicas y biológicas basada en dispositivos semiconductores se ha demostrado mediante el uso de dispositivos de efecto de campo a micro y nanoescala y variantes cercanas. Aunque se ha demostrado que los nanotubos de carbono y los nanocables de silicio son biosensores de una sola molécula, los métodos de fabricación que se han utilizado para crear estos dispositivos normalmente no son compatibles con las técnicas modernas de fabricación de semiconductores y su integración a gran escala es problemática. Estas deficiencias se abordan con avances recientes en técnicas de fabricación microelectrónica que dieron como resultado la realización de estructuras similares a nanocables. Aquí presentamos un método para fabricar nanocables de silicio en ubicaciones precisas utilizando dichas técnicas. Nuestro método permite la realización de sensores verdaderamente integrados capaces de producir matrices densas.
Revistas relacionadas de dispositivos integrados a nanoescala
ACS Nano, Materiales funcionales avanzados, Journal of Physical Chemistry Letters, Biomaterials, Small, Nano Research
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